Fertigung von Mischlosen in der Mikroelektronik auf der Basis eines Verfahrens zur Verfolgung von Einzelscheiben

1 Einleitung.- 1.1 Problemstellung.- 1.2 Zielsetzung.- 2 Stand der Technik.- 2.1 Begriffe und Definitionen.- 2.2 Flexible Halbleiterfertigung.- 2.3 Fertigungsgeräte und Materialfluß.- 2.4 Informationsverarbeitung in der Fertigung.- 3 Einflüsse auf die wirtschaftliche Fertigung flexibler Losgrößen.- 3.1 Einfluß der Prozeßtechnik.- 3.2 Einfluß der Gerätetechnik.- 3.3 Einfluß der Werkstattsteuerung.- 3.4 Einfluß von Informationssystemen auf operativer Ebene.- 3.5 Lösungsansätze zur wirtschaftlichen Fertigung flexibler Losgrößen.- 3.6 Zusammenfassung der Untersuchungsergebnisse.- 4 Ableitung der Entwicklungsschwerpunkte.- 4.1 Anforderungen an das Verfahren zur Mischlosbildung.- 4.2 Anforderungen an ein System zur Einzelscheibenverfolgung.- 5 Konzeption eines Verfahrens zur Mischlosbildung.- 5.1 Modellierung der operativen Ebene.- 5.2 Arbeitsprinzip der Mischlosverwaltung.- 5.3 Aufbaustruktur des Verfahrens zur Mischlosbildung.- 5.4 Ablaufstruktur des Verfahrens zur Mischlosbildung.- 5.5 Funktionale Defizite auf operativer Ebene.- 6 Entwicklung eines Systems zur Einzelscheibenverfolgung.- 6.1 Materialverwaltung.- 6.2 Umhordetechnik.- 6.3 Schnittstelle zur Identifikation.- 6.4 Schnittstelle zur Gerätetechnik.- 6.5 Schnittstelle zur Werkstattsteuerung.- 6.6 Systemstruktur.- 7 Realisierung und Erprobung.- 7.1 Vorversuche zum Verfahren zur Mischlosbildung.- 7.2 Realisierung des Systems zur Einzelscheibenverfolgung.- 7.3 Diskussion der Ergebnisse.- 8 Zusammenfassung und Ausblick.- 9 Literatur.