Werkzeug- und Prozessentwicklung des Roll-to-Roll-Hochdurchsatzverfahrens zur kontinuierlichen, großflächigen Mikrostrukturierung

Die vorliegende Arbeit beschreibt den Aufbau einer Roll-to-Roll (R2R)-Anlage und die Entwicklung eines spezifischen Mikrostrukturierungsprozesses für eine Vielzahl verschiedener Materialien von Hochleistungspolymeren über niedrigschmelzende Metalle bis hin zu Glas-Nanokompositmaterial und thermoplastischen Vliesstoffen einschließlich einer auf Lithographie und Galvanik basierenden teilautomatisierten Werkzeugfertigung für die nahtlose R2R-Mikroreplikation. This work describes the set-up of a roll-to-roll (R2R) system and the development of a specific microstructuring process for a variety of different materials ranging from high-performance polymers and low-melting-point metals to glass nanocomposites and thermoplastic nonwovens, including a lithography and electroplating-based semi-automated tooling production for seamless R2R microreplication.